Kvalita a efektivita při výrobě vzácných plynů
Vzácné plyny se nazývají proto, že jsou ve vzduchu přítomny ve velmi malém množství.
Xenon je vzácný organismus, pouze 90 g z milionu kilogramů zemské atmosféry. Komerčně se získává pouze z velkých zařízení na dělení vzduchu, kde se denně produkuje více než 1 000 tun kyslíku.
Air Products má účinné technologie čištění vyžadované k odstranění nečistot, jako jsou argon a dusík, které jsou velmi inertní.
Přemisťujeme vzácné plyny do lahví v našich čistotných závodech v Asii pro použití v vysoce hodnotných průmyslových segmentech.
Xenon pro výrobu polovodičových a paměťových čipů
Xenon se používá k leptání a depozici mikročipů ve výrobě polovodičů, a to ve formě atmosféry, plazmy a jako zdroj iontového paprsku pro procesy leptání a depozice. Xenon používaný v tomto procesu musí být velmi čistý, protože veškeré nečistoty mohou způsobit kontaminaci silikonového substrátu nebo reakci s procesními chemikáliemi, jako je fluor, za vzniku jedovatého a vysoce korozivního fluorovodíku (HF). Jako globální vůdce v oblasti služeb pro elektronický průmysl se xenon Air Products 'vyrábí v našem nejmodernějším závodě na výrobu elektroniky pro lepší zajištění kvality. Lze jej používat v excimerových laserových zařízeních, laserových tlumicích plynech, leptání DRAM a obrazovek v NAND a plazmatu.
Integrovaná dodávka plynů
Od velkých zařízení na oddělování vzduchu až po ultračisté plyny 6,0 třídy společnost Air Products nabízí flexibilní možnosti dodávek, které splní všechny vaše potřeby.
Máte nějaké dotazy? Máme odpovědi.
SDS Library
Our Safety Data Sheet (SDS) library allows you to search and find the SDS you need--in the language you select.